品牌 | HYDAC/德國賀德克 | 應用領域 | 電子,交通,冶金,汽車,電氣 |
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壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內,引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應變計需通過彈性敏感元件間接感受外力,而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設計成周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片(N型)定域擴散4條P雜質電阻條,并接成全橋,其中兩條位于壓應力區(qū),另兩條處于拉應力區(qū),相對于膜片中心對稱。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴散制作電阻條 ,兩條受拉應力的電阻條與另兩條受壓應力的電阻條構成全橋。
壓阻式傳感器還有效地應用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動機的性能以及諸如測量膛內壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應用壓阻式壓力傳感器。
壓阻式壓力傳感器靈敏度高,它的靈敏系數比金屬應變片高50~100倍;頻率響應快,不僅能檢測靜態(tài)壓力,還能檢測動態(tài)壓力(最高可達10kHz);易于小型化和微型化,最小的傳感器可小至1.8mm,在生物學上可以測量血管內壓和顱內壓;測壓范圍很寬,可以低至10Pa的微壓(用于血壓測量)、高至60MPa的高壓;工作可靠,測量準確度可達±().2%-±0.02%,高準確度的產品可用于大型飛機大氣數據的壓力檢測或作為標準壓力計。目前已經廣泛應用于石油、化工、電氣等工業(yè)領域,是一種比較理想、發(fā)展迅速、正在逐漸成為市場主流的壓力傳感器。
壓阻式壓力傳感器優(yōu)點:
1. 頻率響應高,f0可達1.5M;
2. 體積小、耗電少;
3. 靈敏度高、精度好,可測量到0.1%的精確度;
4. 無運動部件(敏感元件與轉換元件一體)。
壓阻式壓力傳感器缺點:
1. 溫度特性差;
2. 工藝復雜。
賀德克傳感器常用型號:
賀德克傳感器HDA 4746-A-100-000
賀德克傳感器EDS 1791-N-400-000
賀德克傳感器EDS 4448-0400-1-PP-000
賀德克傳感器EDS3446-2-0400-000
賀德克傳感器HDA3844-A-400-000
賀德克傳感器HDA4745-A-160-000
賀德克傳感器EDS 1791-P-040-000
賀德克傳感器HDA474G-A-0006-DV-000(10m)
賀德克傳感器HDA 4745-A-0600-AH1-000
賀德克傳感器HDA7746-A-100-000
賀德克傳感器EDS3346-3-0016-000
賀德克傳感器EDS 1792-P-016-009(145PSI)
賀德克傳感器ENS3216-2-0410-000-K
賀德克傳感器HDA 4444-A-100-000
賀德克傳感器HDA3840-A-350-124
賀德克傳感器HDA4744-A-600-138(500bar)
賀德克傳感器HDA 4746-A-400-031(300bar)
賀德克傳感器EDS3446-3-0250-00
賀德克傳感器HDA 4745-A-0600-S00
賀德克傳感器HDA 4745-A-250-000
賀德克傳感器EDS 348-5-400-Y00
賀德克傳感器EDS344-3-250-000